離子濺射儀是一種緊湊的臺式涂層系統(tǒng)，特別適用于掃描電子顯微鏡成像中非導(dǎo)電樣品的高質(zhì)量涂層。樣品的干燥和清潔是離子濺射涂層的基本要求。如有必要，應(yīng)在交換樣品和陰極的位置用火花放電清潔樣品表面，然后在濺射涂層前恢復(fù)樣品。鐵、鎳、銅和鉛通常用作離子濺射儀器的陰極材料。有時電硬金、鉑、鈀、銦和其他金屬也可用作陰極材料。氧通常用作離子濺射儀器的反應(yīng)氣體。
離子濺射儀的維護與保養(yǎng)方法：
在掃描電子顯微鏡的樣品預(yù)處理中，在樣品表面鍍金和提高樣品的導(dǎo)電性是離子濺射儀的主要用途。多年來，經(jīng)常出現(xiàn)無法正常鍍金的錯誤報告，需要進行維護。
1、調(diào)整真空度
如果樣本倉內(nèi)壁清潔后仍報告錯誤，請注意儀器的真空度。通常，鍍金過程中腔室中的壓力為7Pa。當壓力保持在6Pa或更低時，很容易報告錯誤。將樣品放置到位，蓋上樣品箱，啟動鍍金程序，觀察儀表板上的壓力變化。
當儀器前面的第二個指示燈(調(diào)整真空度)閃爍時，調(diào)整下面的旋鈕。當它順時針旋轉(zhuǎn)時，壓力會增加，當它逆時針旋轉(zhuǎn)時壓力會降低。根據(jù)需要小心地將其調(diào)節(jié)至約7Pa，以便儀器能夠正常電鍍。
2、清潔樣本箱
儀器使用過程中，樣品倉內(nèi)壁會有污染物沉積。通常使用前會用干凈的布或紙擦拭，然后用耳球吹。當儀器長時間使用時，會有許多金顆粒附著在內(nèi)壁的下邊緣，這很難擦除。可以在樣品倉中涂上金屬拋光膏，然后用紙反復(fù)擦拭，這樣更容易清潔，然后用酒精清洗。
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