離子濺射技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中廣泛應(yīng)用，其中靶材料的選擇對濺射過程及薄膜性能具有重要影響。下面將介紹在
離子濺射儀中常見的靶材料以及它們的特點和應(yīng)用。
1、金屬
金屬是最常見的濺射靶材料之一，例如銅、鋁、鍍鉻、鎢等。這些金屬靶材料都具有較高的導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性能，可以制備出良好的導(dǎo)電薄膜。此外，金屬還可以與其他元素或化合物混合制備出一系列復(fù)合薄膜，從而實現(xiàn)多種功能。比如，與氮混合可以制備出具有良好硬度和耐磨性的氮化銅薄膜；與碳混合可以制備出具有良好抗腐蝕性的碳化鋁薄膜等。
2、氧化物
氧化物是另一類常見的靶材料，包括二氧化硅、二氧化鈦、氧化鋁、氧化鋅等。這些材料具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和機械性能，可以制備出具有優(yōu)異光學(xué)、電學(xué)和磁學(xué)性質(zhì)的薄膜。例如，氧化鋁薄膜具有優(yōu)異的絕緣性能和高介電常數(shù)，可用于制備電容器或光學(xué)分析儀器；二氧化鈦薄膜則具有良好的光催化性能和光電特性，可應(yīng)用于環(huán)境污染治理和太陽能電池等。
3、碳基材料
碳基材料包括金剛石、石墨、石墨烯等，它們具有較高的硬度、導(dǎo)電性和熱傳導(dǎo)性能，可制備出具有良好機械、光學(xué)和電學(xué)性能的薄膜。例如，金剛石薄膜具有的硬度和耐磨性，可用于制備切削工具和陶瓷工具涂層；石墨烯薄膜則具有優(yōu)異的電學(xué)性能和透明性，可用于制備柔性透明導(dǎo)電薄膜等。
4、氮化物
氮化物包括氮化硅、氮化鎵、氮化鋁等，這些材料具有較高的硬度、化學(xué)穩(wěn)定性和耐熱性能，可制備出具有硬度和優(yōu)異耐磨性的薄膜。例如，氮化硅薄膜具有良好的機械和電學(xué)性能，可用于制備傳感器、壓力計等；氮化鋁薄膜則具有較高的導(dǎo)電性和光學(xué)性能，可用于制備顯示器件和太陽能電池等。
5、其他
除了上述常見的靶材料外，還有許多其他材料也可以用于離子濺射。例如，半導(dǎo)體材料如硅、鍺等，可用于制備光電器件和集成電路；磁性材料如鐵、鎳等。
點擊交流